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Brooks自動化股份有限公司案例—— Brooks自動化和Galil團隊成功提高了晶圓產量
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Brooks自動化股份有限公司案例——

Brooks自動化和Galil團隊成功提高了晶圓產量


在競爭激烈且要求嚴格的硅晶圓生產領域,產量、精度和可靠性至關重要。

日益提高的性能規格、縮短上市時間和降低成本等相互沖突的要求在不斷擠壓半導體設備制造商的生存空間。因此,大多數半導體設備制造商在設計他們的系統時都指定使用Brooks自動化股份有限公司制造的機器人。這也正是Brooks選擇了Galil運動控制器的原因,現已將其應用于所交付的10,000多臺機器人。

通過整合Galil運動控制器和Brooks專有的時間優化軌跡軟件的功能,Brooks成功將產量提高了33%以上。該公司的時間優化軌跡軟件可以將Galil的S型加速度曲線與部分重疊的運動曲線相結合。如果沒有這種加速度曲線,要實現相同的產量,就需要設置更高的速度和加速度,這將會導致磨損加劇和壽命縮短,并最終降低可靠性。

隨著一些晶圓在其最終制造階段的價值接近數十萬美元,半導體行業必須需要最可靠、最高精度的制造設備。而這正是Brooks所提供的。為了滿足這些嚴格的要求,Brooks依靠Galil成熟的架構和運動控制算法,在晶圓生產過程中始終可靠地保持精確控制。

憑借在設計、制造、尤其是質量組件方面對卓越的不懈追求,Brooks已發展成為半導體晶圓加工領域頗具影響力的領導者,成為了美國最大的晶圓加工機器人制造商。

Brooks于2002年5月完成了對PRI自動化的收購。Brooks致力于為全球半導體行業提供自動化解決方案。該公司所提供的硬件、工廠/工具管理軟件和專業服務,能夠管理晶圓廠中的每個晶圓、刻線以及數據傳輸,幫助半導體制造商提高產量、增加利潤、降低成本,同時還能縮短產品的上市時間。Brooks的產品和功能幾乎遍布全球每個晶圓廠。

Brooks已在其交付的10,000多臺晶圓加工機器人上使用了Galil運動控制器



Brooks自動化股份有限公司

加利福尼亞州山景城

www.brooks.com

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